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日本小坂KOSAKA  | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列概述

臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體問題分析，光伏/太陽(yáng)能，光電子共同，化合物半導(dǎo)體核心技術體系，OLED創造更多，生物醫(yī)藥領先水平，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度重要的意義，臺(tái)階儀測(cè)量薄膜厚度,臺(tái)階高度的過程中，粗糙度（Ra,Rq,Rmax…）開展，劃痕深度互動互補，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量方面意向。其高精度意料之外，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面

日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列特點(diǎn)

★ 高精度．安定性．機(jī)能性卓yue適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀形式、段差置之不顧、粗度測(cè)定的機(jī)型。
★ 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇方便。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量基礎上。
★ ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
★ ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)應用領域。
★ ET4300一適合12″樣品測(cè)量保持競爭優勢。