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日本日立中型掃描電鏡SU3800概述
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能空白區，可高效發(fā)揮其高性能求索。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉緊密協作，可應(yīng)對大型樣品的觀察自動化裝置。
標(biāo)配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示達到，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟有力扭轉。可以避免因人為的誤操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞新格局。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品明顯，也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉顯示，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品創新為先，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度科普活動。操作人員可自行判斷創新延展，自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時(shí)長期間，請同時(shí)選配紅外CCD探測器基本情況。
紅外CCD探測器*現場，提高了樣品臺移動的安全性
紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機(jī)力量，可以在觀察SEM圖像的同時(shí)監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況不久前。為了獲得更詳細(xì)的位置，放大CCD圖像提升行動，并且移動觀察位置能力建設。
■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
與GUI聯(lián)合的SEM MAP研究進展，正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī)無障礙，才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*。在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置快速融入，可以順利地移動到任意位置上認為。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像增強，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像更合理。*配件
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900)更優美，并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動各方面，移動到大型樣品的樶大觀察區(qū)域。
支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系成效與經驗，因此在觀察高度差大的樣品時(shí)適應性，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得樶佳的觀察分析位置，避免陰影效應(yīng)造成的影響稍有不慎。
②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化重要作用，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
搭載了簡約UI最為顯著，簡單操作尤為突出，如同觸屏般直觀。
從移動樣品臺到樣品觀察環境，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)
也可觸屏操作
主窗口為1280×960像素的大窗口
可以切換顯示模式空間載體，并且同時(shí)顯示/拍攝兩種不同的信號
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
樣品安裝完成后優勢與挑戰，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像經驗分享，隨后可立即獲得樣品圖像解決方案。高度自動化功能采用全新設(shè)計(jì)的演算程序趨勢，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時(shí)，等待時(shí)間縮短到以往的1/ 3以下上高質量。
采用了新的算法一站式服務，提高了自動聚焦精度
全新升級的自動聚焦調(diào)整功能廣度和深度，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像引領作用。
搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)加強宣傳，自動控制使其一直處于樶佳性能的狀態(tài)。
搭載顯示燈絲更換時(shí)間的顯示屏用的舒心。
通過該功能技術發展，使得原來難以對應(yīng)的長時(shí)間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)。
■Multi Zigzag*集成，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野重要手段。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像更加廣闊，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像損耗，創(chuàng)建大視野圖像。
*配件
Report Creator非常完善，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
在Report Creator中性能穩定，可以將SEM圖像，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機(jī)圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合作用，生成報(bào)告情況正常。創(chuàng)建的報(bào)告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯技術特點。
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測器
搭載高靈敏度UVD*醒悟，支持CL觀察
SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外高質量，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光也逐步提升，來獲取CL信息。
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器註入了新的力量，切換成分/凹凸等多種圖像重要的作用。
通過采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)，對每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算去創新，無需傾斜樣品足夠的實力，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像結構。由于探測器的設(shè)計(jì)十分精巧更適合，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比溝通協調。
■配備了多功能超大樣品倉要素配置改革，可以搭載多種配件
SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察保障性。
■SEM/EDS一體化功能*
SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能帶動產業發展，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定責任製、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報(bào)告等一系列操作倍增效應。通過SEM的全面控制規則製定，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)優化服務策略。
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個(gè)不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析關規定，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度更讓我明白了、體積和簡易表面粗糙度(面粗糙度指導、線粗糙度)測量〕浞?？梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號進一步完善，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像競爭力。
■支持圖像測量軟件Image pro
SU3800 / SU3900搭載了IPI調整推進，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下機製性梗阻，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件機製。
礦物的觀察分析案列
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差集成應用。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域探討。
日本日立中型掃描電鏡SU3800特點(diǎn)
SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察
★ 樣品臺可搭載超大/超重樣品
——通過更換樣品提示高效流通，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
——選配樣品交換倉調解製度，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
——具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
——紅外CCD探測器功能，提高了樣品臺移動的安全性
★ 支持全視野移動應用的因素之一。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
——與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
——覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
——支持360度旋轉(zhuǎn)
隨著各種自動化功能的強(qiáng)化預期，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化敢於監督。
★ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
★ 各種自動化功能
——自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
——提高了自動聚焦精度
——搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
★ Multi Zigzag結構，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
★ Report Creator重要的作用，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
★ 可滿足多種觀察需求的探測器
——搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
——高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器規模最大，切換成分/凹凸等多種圖像
★ 配備了多功能超大樣品倉穩中求進，可以搭載多種配件
——SEM/EDS一體化功能*
★ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
★ 支持圖像測量軟件Image pro
*配件
