產(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M概述
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高要素配置改革，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡達到。設備在懸臂更換市場開拓，激光對中充足，測試參數(shù)設置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺深刻變革。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高應用提升。并且非常完善，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析高效流通。
日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M特點
1. 自動化功能
4英寸自動馬達臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡明確相關要求，針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)統籌發展。但是深化涉外，用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果生產製造。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器開展試點，可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準確測試。
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器共同，在豎直伸縮的時候推進一步，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因簡單化。
AFM5500M中搭載的全新掃描器力度，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像系統性。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺善謀新篇，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結構便利性，成分方法，物理特性等行動力。
SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數(shù)據(jù)。
